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Automatisierte Halbleiterfertigung,
das PREMA SEMIC®-Zellen-Konzept
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 Greifer in einer SEMIC-Zelle |
Die Fertigung Ihres ASICs findet auf 150mm-Siliziumscheiben (6-Zoll-Wafer) in unserer Anlage in Mainz statt, die die besten heute bekannten Konzepte hinsichtlich Flexibilität, Ökonomie und Prozess- Optimierung berücksichtigt. Bei PREMA wurde die SEMIC® -Zelle (Standard Electronic and Mechanical Interface Clean Chamber) entwickelt. Autonome lokale Reinsträume mit einheitlichen elektronischen und mechanischen Komponenten und Schnittstellen
für jedes der zahlreichen Fertigungsgeräte konzipiert und untereinander vernetzt bilden ein hochflexibles System automatisierter Arbeitsstationen. |
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Eine
durchdachte Zusammenstellung der Arbeitsschritte einer SEMIC®-Zelle
sichert optimale Flexibilität bei verschiedenen Prozessanforderungen und
wechselnden Stückzahlen bei gleichzeitig schnellem und zuverlässigem Prozessablauf.
Der Status jedes einzelnen Wafers ist jederzeit zentral abrufbar.
PREMA hat das SEMIC®-Konzept entwickelt, um als Hersteller den steigenden
Anforderungen der Halbleiter-Fertigungstechnik gerecht zu werden und der
damit meist verbundenen Kostenexplosion begegnen zu können. Wir haben damit
ein System geschaffen, das beispielgebend für die Konstruktion von Anlagen
für die Waferprozessierung ist.
Unseren Kunden sichert das PREMA-Fertigungskonzept ein Höchstmaß an Wirtschaftlichkeit, Fertigungssicherheit, Transparenz der Abläufe und Flexibilität.

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